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 超聲波流量計(jì)芯片的原理探討   七十五

4．2芯片封裝與測(cè)試

超聲波流量計(jì)在完成版圖設(shè)計(jì)和驗(yàn)證后，版圖導(dǎo)出的GDSII文件即可提交給代工廠進(jìn)行流片加工。通常的流片價(jià)格是非常昂貴的，在設(shè)計(jì)沒(méi)有完全成熟的情況下流片風(fēng)險(xiǎn)是巨大的，一旦失敗將蒙受重大的經(jīng)濟(jì)損失。多晶圓代工恰好能解決這一問(wèn)題，其特點(diǎn)就是將來(lái)自不同委托方提供的芯片版圖拼到一起在一個(gè)硅片上加工，這樣價(jià)格可以由各個(gè)委托者共同承擔(dān)流片費(fèi)用，降低了流片成本，減小了流片風(fēng)險(xiǎn)。多晶圓代工的缺點(diǎn)是使流片的時(shí)間周期加長(zhǎng)。

本文設(shè)計(jì)的芯片采用多晶圓代工的流片方式加工，加工的芯片在光學(xué)顯微鏡下檢查。從光學(xué)顯微鏡中可以看出，芯片的表面完好，沒(méi)有明顯的缺陷和瑕疵。取回樣片后委托電子47所進(jìn)行PGA封裝。