超聲波流量計(jì)芯片的原理探討 六十六
(3)超聲波流量計(jì)關(guān)于避免襯底噪聲的措施
襯底噪聲產(chǎn)生的原因:源、漏.襯底pn結(jié)正偏導(dǎo)通,或者電源連接點(diǎn)引入的串?dāng)_,使得襯底電位會(huì)產(chǎn)生抖動(dòng)偏差,這稱為襯底噪聲。解決方法:對(duì)于輕摻雜的襯底,要用保護(hù)環(huán)把敏感部分電路包圍起來(lái);或把gnd和襯底在片內(nèi)連在一起,然后由一條線連到片外的全局地線,使得gnd和襯底的跳動(dòng)一致,也可以消除襯底噪聲。為保證襯底可靠的電位連接,要盡量把襯底接觸孔(substrate contact)的位置和該位置的管子的襯底注入級(jí)(substrate injector)的距離縮小,越近越好,同時(shí)還要求襯底接觸孔的數(shù)量要足夠的多,盡量多打孔,保證襯底與電源接觸電阻較小。